Bild:

- Manueller Inspektionstisch (200 x 200) mm mit Grob-/ Feinpositionierung

-Tisch an Prüflingstyp anpasspar (hier: Waferchuck)

- Feinpositionierung 25mm mittels Mikrometerschraube

- Drehung des Waferchucks um 90° ohne Vakuumabschaltung

- verschiedene Mikroskope adaptierbar

- hier: Mikroskop mit koaxialer Hellfeld-Auflichtbeleuchtung (optional mit Videosystem)

- ausbaufähig zum Messsystem für Strukturbreite, Rastermaß, CD

Download PDF

Speziell Messaufbauten mit telezentrischen Messobjektiven

Bild:

Messplatz zur Vermessung von geometrischen Parametern von Al-Flaschen

-2 Messobjektive

-2 Kameras

-Spezialsoftware zur Erfassung zahlreicher Parameter, Messzeit < 1Sekunde

Manuelles / Visuelles Messmikroskop mit Kreuztisch und digitalen Messspindeln

Manuelles Messmikroskop mit Kreuztisch, Mikrometerschrauben und Bildverarbeitungssystem

-Messung von Linienbreiten im Bildfeld

-großer Tisch mit (350 x 150)mm Verfahrweg

-Ringlicht-Beleuchtung