PDF-Files Kurzbeschreibungen und Applikationen

COMEF-Einführung

COMEF Messfunktionen

COMEF Messgenauigkeit

Arbeitsplatz Kleinteilevermessung 1

Arbeitsplatz Kleinteilevermessung 2

Applikationsbericht Leiterplattenvermessung

COMEF komplett

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Messsystem COMEF 4.1
 

Die perfekte Lösung für die hochgenaue Messung von:

- Leiterbahnen auf Leiterplatten (Applikationsbericht downloaden)

- Strukturen auf Wafern und Masken  

- allen Kantenlagen und Kantenabständen  
 

Höchste Messgenauigkeit durch Subpixelalgorithmen !
 

 

COMEF 4.1 ist mit seinen hochgenauen Algorithmen zur Kantendetektion besonders für die Vermessung eindimensional ausgedehnter Objekte mit höchster Reproduzierbarkeit geeignet. Darunter sind sowohl Leiterbahnen auf Leiterkarten als auch Strukturen auf Silizium-Wafern oder lithografische Masken zu verstehen. Gleichwohl im makroskopischen wie im mikroskopischen Bereich liefert COMEF bezogen auf das Bildfeld höchste Auflösungen und Reproduzierbarkeiten. Wie im Messprotokoll 1 gezeigt wird, beträgt das Rauschen bei einer Messgröße von 60µm lediglich 3,7 nm.

 
Interaktive und teilautomatische Messfunktionen
 

 

Die Messung erfolgt anhand von Grauwerten, die über ein definiertes Messfenster ermittelt werden. Dabei kann das Messfenster für jede Messung neu aufgezogen oder fest definiert werden. Bei einem definierten Messfenster erfolgt die Messung jeweils auf Tastendruck, also teilautomatisch. Die Software bietet Hilfsmittel, um die für eine reproduzierbare Messung notwendigen Beleuchtungsverhältnise wiederholbar einstellen zu können.
 

Dokumentation der Messergebnisse
Die Messergebnisse können im Bild und in frei konfigurierbaren Messprotokollen dokumentiert werden.
 
Intelligente Kalibrierung als Basis für exakte Messungen
 Die Basis für genaue Messungen stellt eine exakte Kalibrierung dar. Hierfür liefert die Software hochgenaue Algorithmen, so dass absolute Kalibrierungen an Massverkörperungen oder relative Kalibrierungen am Pitchmass vorgenommen werden können. Die Kalibrierfunktionen besitzen die gleiche Auflösung und Genauigkeit wie die Messfunktionen.
 
Die ideale Lösung zur Nachrüstung vorhandener Mikroskope
 

COMEF ist die ideale Lösung zur Nachrüstung vorhandener Mikroskope. Die Schnittstelle stellt das Standard-Videosignal einer CCD-Kamera dar. Das Videosignal wird über eine PC-Einsteckkarte, den Frame Grabber, digitalisiert und als Livebild auf dem PC-Monitor dargestellt.
 
Erweiterbar mit zusätzlichen Messfunktionen
Als zusätzliche Messfunktionen stehen manuelle und automatische Abstands-, Winkel-, Radien- und Flächenmessung zur Verfügung. Diese Messfunktionen sind auf komplexe Objekte anwendbar. Obwohl hier die Messmarkierungen manuell gesetzt werden, verschiebt die Software die Messpunkte optional zum nächstliegenden Grauwertübergang. Dies führt auch hier zu Messungen mit ausgezeichneter Reproduzierbarkeit.
 
 

Technische Parameter

 
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