OEG - SURFTENS WH 300

SURFTENS ^WH 300

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OEG

Optik
Elektronik
Gerätetechnik

Kontaktwinkelmessgerät mit 3-Achsen-Wafer-Handling-Roboter für die 200 mm- und 300 mm-Technologie

Überblick

	SURFTENS ^WH 300

Das SURFTENS ^WH 300 ist ein Kontaktwinkelmessgerät für die Halbleitertechnologie. Es ermöglicht vollautomatische Kontaktwinkelmappings auf Siliziumwafern, wobei das Waferhandling durch einen Waferroboter erfolgt. SURFTENS ^WH 300 kann sowohl mit einem OCL für 200 mm-Wafer oder einem Loadport für 300 mm-FOUPs ausgestattet werden. Auch die kombinierte Nutzung von OCL und FOUP in einem Gerät ist möglich.

Generelle Softwareoptionen

	SURFTENS ^WH 300

•	Verschiedene Benutzerlevels

•	Verbindung zu SPC über Netzwerkkarte

•	Automatische Loadport-Erkennung

•	Automatische Erkennung der Slot-Belegung

•	Automatische Messung mit verschiedenen Messvorlagen

•	Garantierte Slot-Integrität

•	Automatisches Notchen der Wafer vor der Messung

•	Messwerte werden auf lokaler Festplatte abgelegt, das Backup der Daten auf einem Netzwerkserver wird durch den Kunden selbst organisiert

•	LAN-kompatibel

•	Inklusive Software für die Auswertung auf einem Büro-PC

•	Manueller Operationsmodus (über Joystick)

•	Echtzeit-Darstellung des Live-Videobildes auf PC-Monitor

•	Speicherung der Bilder im BMP/JPEG-Format

•	Komfortable Bildbeschriftung mit Texten, Messmarkierungen, Messwerten, Linealen usw.

•	Statistische Auswertung der Messergebnisse wahlweise in Standardprotokollen oder in frei konfigurierbaren Messprotokollen

SURFTENS ^WH 300 – Sonstige Merkmale

	SURFTENS WH300

•	Einfach-Dispenssystem mit 10 ml-Tank für Testmedium

•	Programmierbare Tropfengröße

•	Automatische Platzierung des Tropfens auf dem Wafer, Verfahrbereich für die Tropfenplatzierung ist programmierbar

•	Einfacher Ausbau/Reinigung des Dispenssystems

•	System geeignet für Messungen mit mehreren Testflüssigkeiten

•	Software unterstützt frei definierbare Messvorlagen

•	Die gesamte Oberfläche eines 12"-Wafers kann durch den Dispenser erreicht werden (ausgenommen der Randbereich von 10 mm)

•	Komplett automatischer Messablauf (FOUP – Waferpositionierung – Notching – automatische Tropfenplatzierung anhand frei konfigurierbarer Messvorlagen – Messung – FOUP)

•	Kontaktwinkelmessbereich 1° bis 180°

•	Automatische Messung des Kontaktwinkels über Grauwertdetektion und Tropfenkonturanalyse

•	Manuelle Messung des Kontaktwinkels bei schlechten Kontrastverhältnissen

•	Fortlaufende Anzeige des aktuellen Kontaktwinkels (bis 20 Messungen pro Sekunde)

•	Fortlaufende Messung des aktuellen Kontaktwinkels und Darstellung in Diagrammen (bis 20 Messungen pro Sekunde)

•	Wahlweise Messung des rechts- oder linksseitigen Kontaktwinkels

•	Standardmäßig Messung des gemittelten Kontaktwinkels;

SURFTENS WH300 – Grundausstattung

	SURFTENS WH300

•	Automatisches Einfach-Dispenssystem mit horizontaler und vertikaler Positionierung

•	Messtisch für vollständig automatische Probenpositionierung

•	Telezentrisches Messobjektiv

•	Videomesssystem mit hochauflösender CCD-Videokamera

•	PCI-Frame Grabber zur Echtzeit-Videodigitalisierung

•	Beleuchtungseinrichtung mit stufenloser einstellbarer Helligkeit für eine homogene Hintergrundbeleuchtung

•	Kontroll- und Messelektronik für die Teach-in-Prozedur

•	Graphisches Display mit Tastatur und Videodisplay

•	Stromversorgung durch PC

•	Windows-Software SURFTENS

•	Kontrolle der Probenpositionierung in X und Y-Richtung, die Nadelposition in Z-Richtung

•	Loadport für 300 mm Wafer

•	alternativ OCL für 200 mm Wafer oder Loadport und OCL

•	Scanner zur Überprüfung der Slot-Belegung

•

Gehäuse

SURFTENS ^WH 300 – Weitere technische Parameter

Parameter	SURFTENS ^WH 300
Probengröße	200 mm- und/oder 300 mm-Si-Wafer
Positionsgenauigkeit	±0,05 mm in der Prüflingsebene
Bereich Kontaktwinkelmessung	1° bis 180°
CCD-Videokamera	S/W-CCD-Kamera mit max. 440.000 Pixel
Messmethode	Sessile Drop
Reinraumklassifizierung	100 (bessere Klassifizierung auf Anfrage)

Diese Ausstattungsmerkmale können im Sinne der technischen Verbesserung geändert werden. Bindend ist die im Angebot spezifizierte Ausstattung.

SURFTENS ^WH 300 – Mehr Information

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