FLATSCAN CAS
Automatische berührungslose Ebenheits- und Dickenmessung an polierten und rauhen Oberflächen Einsatzmöglichkeiten
FLATSCAN_CAS dient zur hochgenauen berührungslosen Messung der Ebenheit und / oder Dicke von transparenten und nichttransparenten Prüflingen. Die Messung erfolgt softwaregesteuert und automatisch. Es können sowohl Prüflinge mit optischer Oberflächenqualität als auch rauhe Oberflächen vermessen werden. Standardmäßig arbeitet das Gerät mit einem an die Prüflingsgröße angepaßten Kreuztisch. Der optische Sensor ist sehr variabel an unterschiedlichste Meßaufbauten zu koppeln. Neben der Ausführung als Ebenheitsmeßgerät ist auch die Integration in vorhandene Fertigungseinrichtungen möglich.
Funktionsprinzip
Der Meßkopf (links) enthält einen Halbleiterlaser, das Projektionsobjektiv, das Meßobjektiv sowie eine hochauflösende CCD-Matrixkamera (440.000 Pixel, 1/3"-Chip). Er arbeitet nach dem Triangulationsverfahren. Der mechanische Grundaufbau kann wahlweise mit einem Meßmikroskop oder mit dem Sensorkopf CAS ausgestattet werden. Im ersten Fall entsteht ein automatisches Meßmikroskop (rechts), im zweiten Fall ein Ebenheitsmeßgerät. Der Sensor ist an einer Säule in z-Richtung justierbar befestigt. Eine Hartgesteinsplatte dient als Aufnahme für die Säule und den Kreuztisch. Dieser hat einen Verfahrbereich (150 x 150) mm. Eine Anpassung an die Prüflingsgröße ist möglich. Je nach Anforderung können optional Führungen mit hoher absoluter Genauigkeit oder mit geringerer absoluter Genauigkeit und rechnerischem Ausgleich der Führungsfehler gewählt werden. So entstehen Gerätevarianten unterschiedlicher Genauigkeits- und Preisklassen für die automatische zweidimensionale (Profilschnittmessung) und dreidimensionale (Ebenheitsmessung) Oberflächenvemessung.
Software
Die komfortable Windows-Software steuert den Meßvorgang sowie die Auswertung der Meßergebnisse. Sie erlaubt 3D-Darstellungen, Schnittdarstellungen und zahlreiche Datenoperationen. Eine komfortable Windows-Software unterstützt die Erstellung von Meßvorlagen (Meßraster) sowie die Auswertung der Meßergebnisse und deren grafische Darstellung. Sie ermöglicht die 3D-Darstellung der Meßergebnisse unter beliebigem Blickwinkel sowie beliebige Schnitte in x- und y-Richtung.
Technische Daten
1. Sensorkopf
| polierte Flächen | rauhe Flächen | |
| Auflösung | 0,05 µm | 0,1 µm |
| Meßunsicherheit innerhalb 100 µm Meßbereich | ± 0,2 µm | ± 0,25µm |
| Meßunsicherheit über gesamten Meßbereich | ± 0,5 µm | ± 2µm |
| Meßbereich | 800 µm ± 400 µm | 600 µm ± 300 µm |
2. Gesamtgerät
Ortsauflösung: 10 µm
Verfahrbereich: (150 x 150) mm (Standard), andere Kreuztische auf Anfrage
Freier Arbeitsabstand: 22 ± 5 mm
Arbeitswellenlänge: 670 nm
Meßzeit: abhängig von PC, Meßfeld und gewählten Filterfunktionen zwischen 0,1 und 0,5 Sekunden pro Meßpunkt.
Betriebsbereitschaft: 30 min nach dem Einschalten
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