Triangulationssensor CAS
Sensorkopf zur hochgenauen Dicken- und Abstandsmessung mit großem Arbeitsabstand für die Antastung rauher und polierter Oberflächen mit zahlreichen Einsatzmöglichkeiten wie z.B. 3D-Ebenheitsmessung oder Dickenmessung von Glasplatten und Wafern
1. Der Meßkopf
Der Meßkopf enthält einen Halbleiterlaser, das Projektionsobjektiv, das Meßobjektiv sowie eine hochauflösende CCD-Matrixkamera(440.000 Pixel, 1/3"-Chip). Die Standardausführung CAS-30/30 verwendet eine symmetrische Strahlführung d.h., die optischen Achsen des Projektions- und des Meßobjektivs bilden mit der Flächennormalen der anzutastenden Fläche einen betragsmäßig gleichen Winkel (Bild 1). Eine Verschiebung der Prüflingsoberfläche in Meßrichtung (dz) bewirkt eine Verschiebung des Meßsignals auf der CCD-Matrix um den Weg dx. Der Weg dx wird subpixelgenau gemessen. Durch eine geeignete Kalibrierung kann so die Höhenänderung in Meßrichtung mit einer Auflösung von 0,1 µm bei einem freien Arbeitsabstand von 22 ± 5mm gemessen werden.
2. Auswertung des Meßsignals
Zum Lieferumfang gehört im Normalfall das Bildverarbeitungssystem COMEF_CAS bestehend aus hochauflösendem Frame
Grabber, Auswertesoftware für 32-Bit-Windows95/98/NT und PC. Die komfortable Bedienoberfläche und die leichte Überschaubarkeit gestatten eine schnelle und wenig aufwendige Einarbeitung. Die Meßwerte können sowohl fortlaufend angezeigt als auch auf Mausclick abgerufen werden. Die Speicherung in frei konfigurierbaren Protokollen ist möglich. Die Kalibrierung des Meßsystems kann durch den Anwender selbst erfolgen. Die Auswertesoftware ist speziell auf den
Einsatz in Verbindung mit dem Abstandssensor zugeschnitten und liefert durch ihre leistungsfähigen Algorithmen zur hochgenauen Lagebestimmung von Objekten hochgenaue Meßergebnisse.
3. Technische Daten CAS-30/30
Abmessungen: (155 x 55 145) mm
Gewicht: 400 g
Freier Arbeitsabstand: 22
± 5 mm
Stromversorgung: extern, 5V und 12V DC
Arbeitswellenlänge: 670 nm
Meßzeit: abhängig von PC, Meßfeld und gewählten Filterfunktionen
zwischen 0,1 und 0,5 sek.
| polierte Flächen | raue Flächen | |
| Auflösung | 0,05 µm | 0,1 µm |
| Meßunsicherheit innerhalb 100 µm Meßbereich | ± 0,2 µm | ± 0,25µm |
| Meßunsicherheit über gesamten Meßbereich | ± 0,5 µm | ± 2µm |
| Meßbereich | 800 µm ± 400 µm | 600 µm ± 300 µm |
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