Messgeräte für

Warp, Durchbiegung, Glasdicke

 

 


OEG
Optik
Elektronik
Gerätetechnik






 

Wir bieten Software und komplette Messstationen auch Sonderlösungen für die oben genannten Aufgaben.

 

Für detailliertere Informationen bitte den links folgen:


Warp-Messgerät für große Glassubstrate FLATSCAN 650

Das Warpmessgerät  „Flatscan 650“ dient zur Messung von Warp (Durchbiegung) und Glasdickenverteilung von Glassubstraten. Die Sensorbewegung erfolgt motorisch, softwaregesteuert. Das Gerät kann an unterschiedlichste Substratgrößen angepasst werden.

Demo Video FLATSCAN CAS 650


FLATSCAN - Messgerät für Form (Durchbiegung) von Wafern

Berührungslosen Messung von OBERFLÄCHENPROFIL, EBENHEIT, DÜNNFILMSTRESS ( WAFERSTRESS )

 

Demo Video

 


1D - Glasdickenprofil- und Warpmessplatz - GPM2

-Hochgenaue automatische Messung der Dickenverteilung von Dünngläsern

 

 


Offline Warp-Messplatz

-max. Messfeld: (1600 x 1200)mm

-vollautomatische berührungslose Messung

-geeignet für beschichtete und unbeschichtete Substrate


Triangulationssensor CAS

Sensorkopf zur hochgenauen Dicken- und Abstandsmessung mit großem Arbeitsabstand für die Antastung rauer und polierter Oberflächen mit zahlreichen Einsatzmöglichkeiten wie z.B. 3D-Ebenheitsmessung oder Dickenmessung von Glasplatten und Glaswafern


FLATSCAN CAS

-Automatische berührungslose Ebenheits- und Dickenmessung an polierten und rauen Oberflächen

 

Demo Video FLATSCAN CAS 650


Keilwinkelsensor KWS160

Das Keilwinkelmessgerät  „KWS 160“ dient zur Ermittlung des Keilfehlers und des Krümmungsradius, z.B. von PKW Frontscheiben. Der Einsatz für beliebige andere Glasscheiben ist möglich.




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